Inspecter
-
Plateau à mouvements croisés de précision pour l’inspection des wafers
Un plateau à mouvements croisés de précision permet l’inspection simultanée de wafers en silicium par le haut et le bas.
-
Table croisée de précision avec chaîne porte-câble pour salle blanche
Table croisée de précision avec un guidage d'énergie innovant adapté aux salles blanches pour l'inspection des Wafers.