Wafer Aligner

Urządzenie Wafer Aligner HPA pozwala na niezawodne ustawianie położenia przezroczystych, półprzezroczystych i nieprzezroczystych płytek. Niezależnie od tego, czy chodzi o proces standardowy, Warpage lub Edge Contact - nowe modele ustawiają płytki półprzewodników o średnicy od 2 aż do 12 cali w ciągu kilku sekund. W tym celu trzy ruchome osie HIWIN z napędem wrzecionowym centrują i ustawiają położenie płytki. W zależności od modelu urządzenia Aligner stosowana jest jednostka X-Y lub X-Z. Dzięki kompaktowej budowie sera HPA doskonale nadaje się do integracji w wymagających instalacjach. Przystosowane optymalne do zastosowań w przemyśle półprzewodników urządzenie Wafer Aligner serii HPA nadaje się do używania w klasie pomieszczeń ISO 3.